空氣潔凈技術是一門新的技術,國際上50年代中期以后才開始發展。當時美國由于原于能工業和精密機械及電子工業的需要發展了污染控制及凈化技術。特別是1957年前蘇聯第——顆人造衛星發射成功,震驚丁美國政府,促使美國加快了宇航工業的發展速度,由此也帶動了污染控制技術的研究和發展。潔凈技術包括工業潔降技術和生物潔凈技術兩大類潔凈室。前者以控制非生物微粒的污染為子要任務,后片則以控制生物微檢的污染為:童要任務。
核工業、電子工業、精密儀器利精密機械制造等許多]:業部門部需要生氣潔凈技術。例如在核反應堆、核燃料制造或處理裝置、放射化學操作及其他核操作過程中都要潔凈室產生放射件氣體和放射性粒子。為了保護周圍居民和設備遠行人員免受放射性氣體祁料子的危害,核空氣潔凈系統足必不可少的。這種治凈系統的特點是具有極高的污染物捕集效率,潔凈室因此代價也非常高。
現代電子工業的迅速發展,使Ic(集成電路)的微紉加工技術口趨精密與趙微型化。發達國家所加工的最小圖形尺寸(線條寬度)已達2—3ftm,甚于達到lym。大規模集成電路(1,sI)和超大規模集成電路(VtsI)的集成度已達到64K和256K、1M、4M。有害的華埃粒子直徑一般認為是加工尺寸的1/5—1/10,因此,在VI。S[制作過程中,為廣提高產品的成品率、質量和uJ靠性,被控制塵埃粒徑應為o.1Pm。隨著產品集成度提高而使用精細的dn I:尺寸以及I:序的增An,由于附著異物引起的產品不合格率將急劇廣升*因此,應用潔凈技術的潔凈廠房在該領域戶是非常重要的。
現代生物潔凈技術是在工業潔凈技術的苯礎廣發展起來的。第一個生物潔凈室是1966年1月在美國建立的。現在生物沽凈室已廣泛用于宇航業、潔凈室醫學、制藥、牛物實驗、遺傳工程和食品工hIL等各方面。
在醫學方面,潔凈室千要用于做心臟、腦外科、臟器移植等深部手術的手術室;治療白血病患者、重燒傷病人以及其他對于感染缺乏抵抗力恩有的治療室以及需要在無菌條件下進行操作的血液工作室等。如白血病患者,其體內的白細胞大量是幼稚型胞,潔凈室嚴重喪失對感染的防御能力,因此在治療期間防止感染是相當重要的。